二手 NIKON NSR 1755 i7A #9279743 待售
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ID: 9279743
晶圆大小: 6"
Stepper, 6"
Wafer type: Flat
Wafer loader type: Type I
Leveling system: Claw system
Arm
Main body with chamber
Monitor
RA Microscope
Reticle loader:
Mask, 5"
Arm
Reticle library: Double film
13-Slot s
Wafer stage:
Chuck, 6"
LC Mirror.
NIKON NSR 1755 i7A是一种高端全场扫描晶片步进器，专门设计用于300毫米（12英寸）晶片。开发该扫描仪是为了提供高水平的覆盖和CD（临界维度）精度,即使在低剂量下也是如此。NIKON NSR 1755I7A配备了7英寸物镜，并拥有两面对准标记识别设备，包括用于精确对准和对准的四对准传感器和可编程光电二极管阵列。改进的相机设计提供了改进的色差控制和卓越的分辨率。NSR-1755I7A配备了先进的磁通量分析系统，为高级节点和内存节点等各种光刻过程提供高水平的曝光控制和快速对齐迭加。晶片步进器还具有一个"自下而上"的配置单元，它支持最大焦点，因为它可以补偿自下而上曝光时遇到的光学和机械不稳定。此外,NIKON NSR 1755 I 7A还包括一个可编程像差校正器,它提供了增强的景深控制和维护,以实现均匀的图像质量。该装置还包括一台自动时钟偏斜补偿机，优化了线端缩短，提高了线缘粗糙度（LER）。NIKON NSR-1755I7A采用三区照明源,有助于提高吞吐量性能以提高吞吐量。扫描仪还支持使用非光刻屏蔽技术，包括纳米印刷品光刻（NIL）和X投影对齐器（XPA）。NSR 1755 i7A是高吞吐量和低成本光刻应用的理想选择。它结合了晶圆颜色标记以简化对准标记识别，并且可以与多种先进的半导体薄膜一起使用。该装置的设计有助于优化稳定性，提供有条件的关节，使步进器边缘的运动最小化，消除振动源。NSR 1755I7A非常适合成本意识和要求很高的晶圆步进器应用。晶圆步进器有一个全面可靠的服务计划作为后盾,包括对所有产品的NIKON标准保修以及全球范围内提供的全天候支持。
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