二手 NIKON NSR 1755 i7A #9299961 待售

NIKON NSR 1755 i7A
ID: 9299961
晶圆大小: 6"
优质的: 1991
Stepper, 6" 1991 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A Wafer Stepper是在微处理器工业中使用的晶片上创建非常小的电路结构的高精度工具。它是一种全场成像设备,能够成像直径达300毫米的基板。系统使用更新的i-line步进单元,该单元能够自动对齐、对齐和迭加,以确保高性能产量。NIKON NSR 1755I7A Wafer Stepper拥有一台包括两个高数值孔径投影目标的高分辨率全场投影机。投影目标被设计为减少衍射,并提供来自电子束的高分辨率图样。投影工具还具有先进的光学资产,进一步增加了图桉的对比度。NSR-1755I7A Wafer Stepper还有一个先进的主动对准模型,它为每个图像提供高精度和准确性。NIKON NSR-1755I7A Wafer Stepper也有两种光束源可供选择;电子束源和i线激光源。电子束源能够在晶圆表面上产生极小的特征。梁点尺寸是可变的,可以针对特定的应用要求进行优化。另一方面,i-line激光源能够成像较大的特征,例如在存储芯片上发现的那些特征。NSR 1755 i7A Wafer Stepper的设计也考虑到了安全和环境方面的考虑。它具有先进的通风设备,能够安全高效的操作。该系统还融合了先进的安全功能,例如内置的警告单元,在紧急情况下自动停止机器的操作。污染控制工具为过程提供了安全清洁的环境。NSR 1755I7A Wafer Stepper还具有高速图像处理功能,可提供精确的图像捕获和处理功能。资产还包含一个高级的基于磁盘的数据存储模型,可确保数据的可靠性和安全性。此设备能够存储高达200 GB的数据,并且足够小巧,可以安装在标准的19英寸机架中。总体而言,NSR-1755 I 7晶圆步进器是专门为微处理器制造而设计的先进成像系统.它是一个全场成像单元,能够成像直径达300毫米的基板。它旨在减少衍射,提供来自电子束的高分辨率图样。此外,先进的主动对齐机提供了高精度和精确度的每一个图像捕获.此外,该工具还利用了两个光束源的选择;电子束源和i线激光源。
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