二手 NIKON NSR 1755 i7A #9302607 待售

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ID: 9302607
优质的: 1992
i-Line stepper Reticle, 5" Reduction ratio: 1:5 Expose field: 17.5 Resolution: 0.45 NA: 0.5 Global alignment: 0.18 um 1992 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A Wafer Stepper是为半导体生产而设计的最先进的机器。该机器采用NIKON先进的曝光技术进行工程设计,一次对多个芯片进行精确的制图。步进器采用了最新的曝光设备,即i7A一个在线对准系统,以提高位置精度,此外还有一个多轴管理单元之外的先进阵列技术。这台机器上先进的制图技术具有专有的对齐机,可以同时对多个芯片进行精确配准。这大大缩短了吞吐量时间,并最大程度地减少了人为错误。步进器具有高分辨率的"标线对齐"(RA)对齐工具,对齐精度为0.02 μ m。这样可以确保晶片与晶片之间有极好的覆盖.它还为高级过程控制提供嵌入式Z级补偿,从而获得最高质量的设备。NIKON NSR 1755I7A Wafer Stepper还具有独特的模块技术,使其能够在步进模式和扫描模式下执行精度和晶圆模式。这台机器上独特的模块技术使它能够桥接薄至5-10nm的窄线工艺模式,这比传统步进器能达到的速度要快得多。它还包含0-4um的宽步长范围,步长可重复性<0.5nm。此外,步进器还包括一种光学成像设备,能够提供出色的图样精度。NSR-1755I7A Wafer Stepper具有全面的通信模型,允许远程监控。步进器与提供详细参数设置的直观用户界面集成在一起。此外,设备还提供了各种各样的流程和操作状态数据,使操作员可以即时监控、分析和控制流程。该机器还具有实时的可操作坐标,有助于减少整个过程中的错误。NIKON NSR-1755I7A Wafer Stepper具有教学和培训生产团队新成员的全面诊断功能。此外,它的高级自动化有助于降低成本,同时确保一致的性能和最佳的输出。总而言之,NSR 1755 I 7 A Wafer Stepper提供了卓越的性能和可靠性,可实现精确和大批量生产。凭借最新的功能和技术,NIKON NSR-1755 I 7晶圆步进器是现代半导体制造业务的理想解决方桉。
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