二手 NIKON NSR 1755 i7B #293619990 待售

NIKON NSR 1755 i7B晶圆步进器是一种最先进的投影光刻机,用于制造功能尺寸小于几纳米的设备。它是一种直接驱动的六场单波长光刻工具,支持从EBR（曝光束路线）到每个加工晶片的对齐和基板平坦度的整个光刻周期。NIKON NSR-1755I7B利用先进的投影透镜、反射物镜（REX）和双环均匀器，提供卓越的低掩模失真性能。该设备具有业界领先的计量套件,其中包括可编程级、XYZ晶片移动和焦点检测,从而能够在关键层上实现精确的抵抗开发和阵列。NRK 1755 i7B还支持离轴照明、对准模型生成的图桉、无缝自动对准等创新成像技术。它集成了交互式曝光命令系统、开发者优化和晶圆温度控制，使整个过程更易于管理。步进器可靠，在厚基板上支持高质量的器件制造。该单元采用了现场可编程栅极阵列（FPGA），以确保短标线到标线的曝光周期，其电磁扫描仪头技术允许低成本、自动控制的曝光条件设置。其高精度步进电机控制机在操作过程中产生稳定的暴露剂量。from-field缺陷管理工具包含激光模式扫描仪、缺陷监视器和中场缺陷监视器。它可以检测可能导致屈服变化的气隙缺陷，其图像处理引擎在触摸面板上显示从缺陷监视器获得的图像。NSR 1755 i7B还支持ImagePLUS传感器资产,该资产与执行缺陷审查的DefectReview软件一起收集被检查晶片上的不均匀数据。它还支持AutoAlign模型，该模型在执行投影曝光的同时快速获取模式信息，从而可以快速调整晶圆配准。总之，NSR-1755I7B晶片步进器是一种可靠的、最先进的投影光刻机，能够精确地制造出几纳米以下特征尺寸的器件。它支持各种成像技术,并配备了业界领先的计量套件、交互式曝光设备和自动对齐工具。