二手 NIKON NSR 1755 i7B #9160458 待售

NIKON NSR 1755 i7B
ID: 9160458
晶圆大小: 2"
Stepper, 2" Reticle size: 5".
NIKON NSR 1755 i7B Wafer Stepper是一种高性能的浸入式光刻成像设备,主要设计用于掩模和光栅级光刻应用。这种晶片步进器装有抗静电焊料凹凸成像技术,使得即使是最小的焊料凹凸也能产生细细的3D成像。该系统具有82um的高分辨率摄像头,能够制造具有超紧设计规则的半导体芯片。此外,轴上对齐特征可确保最大的对齐精度,从而提高模具吞吐量。NIKON NSR-1755I7B Wafer Stepper用于创建称为标线的主模式,用于将图像传输到晶片。该单元具有25.4毫米的标线场区域,允许对大曝光场进行精确成像,以及对内存芯片等小型微设备进行高精度成像。这些标线通常是由石英制成的,使它们对于图像传输到晶片非常有效。这台机器配备了先进的自动对焦控制装置,可以监视和纠正对焦平面中的任何缺陷,同时自动检测模式的模具边界。这使得该工具非常适合具有严格的设计规则和高产率的生产。NSR 1755 i7B Wafer Stepper专为在恶劣的生产条件下实现最高的效率和可靠性而设计。凭借其高速激光投影资产,它能够每小时高达4,500晶圆,吞吐量高达1.6 GHz。该模型具有一个控制设备,该设备可优化每次喷射的曝光条件,提高晶片的吞吐量和均匀性。该控制系统还能够优化暴露时间、剂量和焦点,提供绝对的过程控制和稳定性。NSR-1755I7B晶片步进器是晶片级成像的完美解决方桉,可提供高吞吐量、卓越的均匀性和可靠的结果。它是一个功能强大、高性能的单元,具有先进的成像功能和优化的照明效果,确保了出色的模模式化和准确性和均匀性。凭借先进的自动对焦控制,确保了良好的对焦平面稳定性,使本机成为现代半导体行业高分辨率需求的理想选择。
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