二手 NIKON NSR 1755 i7B #9165599 待售

NIKON NSR 1755 i7B晶圆步进器是一种突破性的工具，它为高精度对准和光刻提供了无与伦比的工艺，彻底改变了半导体制造业。步进器具有扫描电子束偏转器,偏转精度为0.6 μ m,最大扫描速率为1.5 kHz,能够提供卓越的过程稳定性和图像质量。7轴2柱系统还确保0.7 μ m内的对准精度,始终确保晶圆以最高精度对准。电机驱动程序In-Deflection Axis Scanning允许对单晶片级进行高度精确的直接驱动控制,以进行纳米级扫描。它的高效率也使得每晶圆1.5秒的快速循环时间。NIKON NSR-1755I7B还具有0.33 μ m的行业领先分辨率,覆盖了典型的常规晶圆步进器的近2.6倍的范围。该分辨率可以很容易地实现，使光掩模图样与晶圆基板上的高密度晶体管图样精确对齐。仪器配备了自动4轴居中程序，相对于X-Y级的X轴和Y轴自动、精确地将每个晶片居中。此居中程序可处理最大8英寸的晶圆尺寸,没有孔或对齐标记,并且可以编程为同时执行手动和半自动居中。NSR 1755 i7B有一个开放接口软件，允许定制和优化诸如捕获数据、处理晶圆图像、对齐过程和重复精度等过程。该软件还提供了图形驱动的操作环境，简化了晶圆和光掩码过程。总体而言，NSR-1755I7B是一种革命性的晶片步进器，在晶片对准方面提供了卓越的精度。它提供一致的高分辨率成像,能够缩短周期时间、提高产量和提高性能。