二手 NIKON NSR 1755 i7B #9250066 待售
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ID: 9250066
优质的: 1993
Stepper
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: Flat, 6"
Wafer stage screw: Ball
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Flat, 6"
Type 1
Cassette (L + R)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15 / 17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temperature: LATC and Chamber
Chamber: ASAHI S78
Chamber size: 1500
1993 vintage.
NIKON NSR系列1755 i7B是一种中端自动化晶圆步进器,结合了精度、性能和精细光学。此步进器的设计目的是通过高速调整、更快的曝光时间以及许多其他功能来减少周期时间并加快吞吐量。它拥有17英寸、4K分辨率的液晶显示屏,曝光面积为455 x 455mm。内部光学系统配备了尼康CFI60技术,提供了改进的景深和近距离像差校正。宽广的数值孔径也有助于更高分辨率的成像。NIKON NSR系列1755 i7B的闭环步进控制系统利用高精度编码器检测和纠正投影镜头的任何失准,因此设计得非常可靠和准确。步进器还具有集成的总浓度控制系统(TCCS),可减少透镜温度漂移引起的过程变异性。步进器能够精确的剂量和焦点控制,并在每次曝光时提供保证的晶圆结果。步进器支持广泛的光刻和抵抗材料,以及可变聚焦和剂量选项,以更有效的处理。NIKON NSR系列1755 i7B非常适合需要卓越成像的组装级生产和芯片结合应用。紧凑的设计和远程能力使得这种步进特别适合在工厂、装配线和研究实验室中使用。步进器的设计考虑了用户安全和人体工程学,先进的功能为用户提供了可靠高效的生产周期。开放软件平台还允许完全集成第三方工具以提高效率。总而言之,NIKON NSR系列1755 i7B是一款可靠高效的自动化步进器,可提供卓越的成像质量和生产速度。
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