二手 NIKON NSR 1755 i7B #9268107 待售
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ID: 9268107
晶圆大小: 6"
Stepper, 6"
Flat wafer
ASAHI S78 Chamber
PLC Type: MELSEC F1-60 MR, F1-60 ER
Variable reticle microscope: 15 mm and 17.5 mm
AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 5517A Laser
LSA Laser: 5 mW
ITV Camera: RA CCD XC-77
Silicon wafer
OF Sensor: NIKON
UD Motor: 5.44:1
Wafer loader type: Type 1
No in-line
Wafer carrier table: Left and right
FIA
Reticle, 5"
Reticle case: 26 mm
(13) Reticle slots
No PPD / PD
Rack type: Right
Chamber temperature:
Chamber: 23°C
LATC: 22.6°C
Power: 200 V, 3-Phase, 4 Wires, 75 Amps.
NIKON NSR 1755 i7B是一种最先进的晶圆步进器,旨在为半导体器件制造提供极其精确的光刻技术。该模型采用先进的电子束光刻(EBL)系统,可实现高达0.01 μ m的卓越特征分辨率。它配备了重型框架结构,用于精确的阶段对准,并结合了最新的NIKON扫描角度控制(NSC)技术,以提高晶圆位置精度。此外,NIKON NSR-1755I7B晶片步进器能够以高达1.0秒/模具的无与伦比的采集速度实现直接向下到基板的阵列,从而消除了长时间曝光的需要。先进的EBL系统还提供了无与伦比的分辨率、高速扫描和出色的舞台对准精度。该模型包括高通量、大面积扫描仪和独特的高压光学系统,用于快速扫描和优化模式迭加。EBL控制单元与NSR 1755 i7B晶圆步进器之间的高速通信使操作员能够精确控制多个过程步骤,如长时间曝光时保持位置,调整扫描速度和模式大小,以及其他晶圆预处理设置。NSR-1755I7B晶片步进器还具有先进的晶片夹紧能力,能够在受到不同基板的挑战时进行精确的调整和快速的变化。其高精度传动系统在广泛的工作条件下提高了配准精度和稳定性。该模型还提供了具有模式平移和比例调整的自动对准功能,并利用独特的边缘检测器在显微镜下快速定位晶片。归根结底,NIKON NSR 1755 i7B晶圆步进器提供了业界领先的精度和吞吐量,使其成为大型和小型设备制造的理想选择。该型号具有快速扫描功能、种类繁多的光刻技术和可调节的舞台设置,可灵活地用于各种先进的设备制造过程。其用户友好的界面使其易于操作,而其优越的模式分辨率和优越的工艺性能使其成为任何晶圆步进器应用的理想选择。
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