二手 NIKON NSR 1755 i7B #9279749 待售
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ID: 9279749
晶圆大小: 6"
Stepper, 6"
Wafer type: Flat
Wafer loader type: Type I
Leveling system: Claw sub-system
Arm
Main body with chamber
Monitor
RA Microscope
Reticle loader:
Mask, 5"
Arm
Reticle library: Single film
13-Slot
Wafer stage:
Chuck, 6"
LC Mirror.
NIKON NSR 1755 i7B晶片步进器是一种高性能的光刻设备系列，旨在为半导体器件生产提供增强的制造能力。该系统是一个功能齐全的光刻平台，具有第四代扫描仪、完全集成的光刻控制系统和一套先进的光刻工艺。它采用了获得专利的两级体系结构,可实现高覆盖精度和缺陷检测。NIKON NSR-1755I7B配备了先进的光学器件，提供精确的聚焦、特征识别和晶圆对准。该光学器件还针对延长的工作距离和低陡度进行了优化，确保不会因像差而产生伪影。先进的光刻平台能够提供高达10毫秒的曝光时间,从而实现更高的吞吐量,同时保持卓越的图像质量。NSR 1755 i7B预配置了NIKON最先进的光刻算法,如脉冲模式发生器（IPG）、多圆曝光（MCE）和扫描匹配算法（SMA）。这些算法可实现曝光资源的最佳利用,从而缩短吞吐量时间。晶片步进器还提供了最快的模式识别时间，从而减少了基板清洁时间，确保了高产量水平。此外，NSR-1755I7B还包括一个综合批次管理系统，它提供了一种安全可靠的手段来跟踪晶片和装配/检查数据。它还具有高度直观的用户界面,可简化光刻操作并确保最佳的过程控制。这种晶圆步进器设计用于高容量和高溷合半导体的生产，使得它可以在广泛的应用中使用。NIKON NSR 1755 i7B为高级光刻工艺提供精确的直接写入和对齐能力。它速度快、精度高,非常适合大批量生产,其先进的功能确保它非常适合复杂的设备阵列。最后，该机也高度可靠和人性化，使其成为全球光刻机构的热门选择。
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