二手 NIKON NSR 1755 i7B #9299962 待售

NIKON NSR 1755 i7B
ID: 9299962
晶圆大小: 6"
优质的: 1994
Stepper, 6" 1994 vintage.
NIKON NSR 1755 i7B是下一代高端曝光工具,为先进的半导体工艺提供完整的光刻解决方桉。这种晶圆步进器是一种模块化的平台设备,与它的前代产品相比,它的设计占用空间更小,外观显着改善。它提供了50%更大的视场(FOV)与世界最低的失真,使其成为理想的苛刻的细线和超低K1光刻。NIKON NSR-1755I7B具有165mm的紧凑型等离子体射流源,允许通过其大磁场(FL)和扇形(FL)透镜进行高效曝光。与传统系统相比,这使得模型的尺寸得以减小,并且具有市场领先的性能,具有较大的一致性和高可重复性,以确保卓越的成像质量。NSR 1755 i7B具有高分辨率10.4英寸大屏幕触摸屏显示屏,操作直观。它具有先进的视觉控制技术,即使在处理复杂的过程和基板时也能提高图像质量和稳定性。此外,晶片步进器还集成了AI供电的成像控制、高精度对准的自动聚焦、TTLRS2的底部抗反射能力、基板温度测量能力、阶段失真校正功能。这些功能提供高吞吐量和卓越的成像质量。晶圆步进器具有高速、0.6mm/s的数据点和3G的加速/减速速率,从而缩短了曝光时间和吞吐量。此外,该装置的高速数据系统进一步提高了吞吐量,并产生了有效的性能。该设备针对40 nm至450nm的层厚和轨迹宽度的广泛应用进行了优化。NSR-1755I7B具有低功耗和低噪声操作,可实现环保性能。其可更换的点源延长了机器寿命,增加了维护间隔,减轻了用户负担。此外,系统的开放式体系结构提供了高级管理人员、可扩展性和灵活的选项。它还与模式评级软件兼容,可以通过数字印记模块进行增强,以实现成本效益。总体而言,NIKON NSR 1755 i7B是一款功能强大的晶圆步进器,可提供卓越的成像质量和更好的吞吐量,同时减轻用户负担。它符合人体工程学设计、高效、环保,是先进半导体工艺的绝佳光刻工具。
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