二手 NIKON NSR-1755i7B #293825587 待售
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ID: 293825587
Stepper
Electric source: NEMA Box / CVCF / UPS
Chamber type: ASAHI / SENDAI S810
Reticle Microscope: 15 mm to 17.5 mm.
NIKON NSR-1755i7B是为半导体工业设计的高度精密的晶圆步进设备,专门满足半导体制造设施中先进光刻工艺的需要。这种尖端设备是NIKON受人尊敬的晶片步进器系列的一部分,并拥有一系列创新的特性和功能,能够在硅晶片上实现高精度成像和阵列。NIKON NSR 1755具有最先进的I线投影镜头,其数值光圈(NA)为0.75, i7B提供卓越的分辨率和图像质量,可用于在晶圆上绘制复杂的图样。该系统配备了5倍减小投影光学单元,使步进器能够实现低至150纳米的分辨率,使其适合制造先进的集成电路和内存设备。NSR-1755i7B由一个复杂的i线准分子激光光源提供动力,该光源以365纳米的波长发光。该光源为步进器提供必要的照明,使光刻胶在晶片上曝光,使图样从光掩模以高保真度和精确度转移到硅基板上。步进器能够处理各种光敏材料,在工艺优化和定制方面具有灵活性。NSR 1755 i7B的一个主要优点是其先进的对齐和迭加能力,这对于在光刻过程中精确的模式登记和对齐至关重要。这台机器采用了复杂的舞台工具,具有多个自由度,使晶片相对于光掩模能够精确定位和对准。这种高度的对准精度确保了可靠的模式传输,并使步进器能够实现制造先进半导体器件所需的紧密覆盖公差。除了先进的成像和对齐功能外,NIKON NSR-1755i7B还集成了一系列高级自动化功能,以提高生产效率和简化制造过程。资产配备了自动晶圆处理、对准、聚焦优化的智能软件算法,减少了人工干预的需要,最大限度地减少了操作员的错误。这种自动化能力可实现高吞吐量生产,并促进与半导体制造工作流程的无缝集成。NIKON NSR 1755 i7B设计有一个坚固可靠的平台,以确保在长期运行期间稳定和一致的性能。该模型采用隔振设备,最大限度地减少机械干扰,确保曝光时的最佳成像稳定性。此外,步进器还配备了先进的监控和诊断系统,可实时检测和纠正任何问题,从而确保半导体制造过程的高产量和可靠性。总体而言,NSR-1755i7B晶片步进器代表了光刻技术的巅峰之作,为半导体制造商提供了一个强大的工具,为生产尖端集成电路实现高分辨率的阵列和精确的对准。NSR 1755 i7B具有先进的光学、对准功能、自动化功能和强大的设计,能够满足半导体行业的苛刻要求,并推动先进半导体制造工艺的创新。
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