二手 NIKON NSR 2005 EX 12B #9316104 待售

NIKON NSR 2005 EX 12B
ID: 9316104
Stepper.
NIKON NSR 2005 EX 12B是晶圆步进器,一种用于在半导体晶圆上创建极小元件的机器。机器使用光刻技术,通过包含电路设计的掩模将晶片暴露于光中,以产生所需的集成电路模式。NIKON NSR 2005 EX12B采用双轴级设备,可精确控制晶圆放置,精度为0.4微米。另一个高级级系统利用平面跟踪来确保晶片保持在同一光学平面上。NSR 2005 EX 12 B可以配备各种步进系统,如全场、右边、图像缝合和可编程变焦。全场单元允许整个晶片表面完全曝光,而右边机则对曝光边缘提供更精细的控制。图像缝合工具可以用来将几个个体曝光重迭成一个大镜头,而可编程变焦则允许对晶圆边缘附近的曝光进行更精确的控制。此外,NSR 2005 EX12B还配备了高级主动对齐资产。该模型不断监测晶圆对准,允许精确控制曝光参数。该设备还采用了专门的算法来精确放置边缘,从而减少了对齐曝光时的误差幅度。为了保证高光刻图像质量,NIKON NSR 2005 EX 12B采用了高分辨率像差校正系统。该单元通过先进的可拆卸透镜机和自动校准功能来补偿各种像差,包括水平平面度、B状态、椭圆度、昏迷、其他失真、曲率和磁场曲率等。最后,为确保用户安全,NIKON NSR 2005 EX12B采用了健康监测工具。该资产监视各种机器功能,如温度、压力和振动,并在检测到异常时关闭机器。总体而言,NSR 2005 EX 12 B是一项创新且精确的技术,允许制造复杂的集成电路结构。其先进的舞台模型和主动对准设备为精确准确的暴露提供了必要的控制,而其像差校正系统和健康监测单元则有助于确保一致的结果和安全。
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