二手 NIKON NSR 2005 G8C #293817947 待售

NIKON NSR 2005 G8C
ID: 293817947
Stepper Numerical Aperture (NA): 0.6 Resolution: 550 nm DCO: 120 Throughput (WPH): 66.
NIKON NSR 2005 G8C是一种先进的光刻工具,专为处理标线和半导体晶片而设计。它具有较大的视野(30毫米x 24毫米),可以对比传统步进器更大的标线进行成像。该G8C还具有一个高数值孔径(NA),它允许更高分辨率的高精度成像。G8C先进的成像功能使其非常适合制造最具挑战性的几何形状和复杂的3D结构。该G8C包括一个超精确的双轴扫描设备,用于高精度对准标线和晶片。这样就可以在不影响图像质量的情况下准确对齐每一个图层。该G8C还设有一个多滤镜系统,它允许选择在成像过程中使用的不同波长的光。这样可以确保晶片上不透明和透明材料之间的最佳对比。NSR 2005 G8C提供卓越的对比性能。它采用先进的光学设计,并与数字聚焦专家单元和气隙照明等专有技术形成鲜明对比。气隙成像的精确度提高,加上超高数值孔径,不需要手动对标线和晶片进行后处理。NIKON NSR 2005 G8C配备了一系列真空泵,能够在高真空环境下运行,以最小的维护提供卓越的耐用性和可靠性。该G8C还包括一个自动级,用于在开始成像之前处理和定位标线和晶片。这有助于确保多层流程的准确性,而不会影响吞吐量。该阶段还能够对多达200种不同的材料和层厚度进行先进的基板和对准检测。总体而言,NSR 2005 G8C是一台全面的光刻机和晶圆步进器,具有先进的一系列功能,可高效地以极高的精度制造高精度和错综复杂的结构。它非常适合在高分辨率、大幅面尺度上制造先进的半导体器件和其他复杂结构。
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