二手 NIKON NSR 2005 i10 #9243867 待售
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NIKON NSR 2005 i10晶片步进器是一种高端光刻系统,用于在薄半导体晶片上产生高度精确的图样。I10是一个二进制步进器,使用两个光束源,一个用于曝光,一个用于对准。它能够在x-y方向上以最小0.5 µm精度精确对准晶片,使其成为广泛光刻任务的理想选择。机器使用先进的光学、软件和力学来进行精密工作。其光学器件由20位镜头炮塔和超长波长透镜以及长工作距离透镜组成,以确保在整个晶圆上有完整的成像场。I10以广泛的运动范围移动镜头,以确保最佳曝光时间,从而产生精确的图像。I10配备了用户友好的软件界面,允许光刻工艺的可编程性和快速数据访问。该软件支持其他数字系统的连接,以实现更多的自动化和自动化相关选项。机器的先进机械性能确保晶片在卡盘上的精确和连续定位。它采用独特的空气/机械轴承系统,允许晶片浮动,确保晶片在整个曝光时间内保持原位。这样可以获得高度精确的曝光时间和提高的总产量。I10还提供了广泛的功能,例如可减少振动和倾斜误差的平滑步进晶圆驱动机构、用于紧凑工作空间的紧凑设计外壳,以及用于高分辨率曝光的可选计算机控制曝光窗口。这种组合使得i10成为最严格的光刻应用的理想选择。总之,NIKON NSR-2005I10晶片步进器是一种针对最精确的光刻应用而设计的高端光刻系统。它提供高级光学、软件和力学,以确保准确性和最佳曝光时间。其广泛的特性使得它可以在狭小的空间和广泛的应用中使用。这种组合使得i10成为任何光刻任务的理想选择。
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