二手 NIKON NSR 2005 i10C #293587661 待售

NIKON NSR 2005 i10C是一种革命性的晶圆步进器,它彻底改变了芯片生产。此步骤和重复设备功能基于KLA-Tencor计量设备。它采用了专利的锥形浸入式照明器（TII），这是市场上最精确的光束形状、尺寸和位置控制设置之一。步进器的接触模式扫描能力和4维样本数据输出提供了很高的准确度。NIKON NSR 2005I10C有两层垂直堆迭的透镜，TII的指数光束和下降光束通过透镜指向晶圆和标线。透镜包含一个旋转的球形表面，使光线能够正确弯曲，从而在晶圆上产生图像。透镜还能够调整光束的倾斜度，从而可以对晶圆上的图样进行精确扫描和成像。步进器还具有高精度的衰减和放大，一次聚焦精度为0.1微米，二次聚焦精度为0.05微米。NSR-2005I10C有一个高效的投影镜头系统，这意味着它可以在仅2.5秒的曝光时间内运行10个阶段。这意味着晶片可以比传统步进器更快地暴露于扫描模式中。它还具有较高的航空图像范围，这意味着可以在多个细节层次上准确地产生各种图桉。另外，步进器可以处理范围广泛的标线尺寸，使其适合在各种不同的应用中使用。NIKON NSR-2005I10C非常可靠，这要归功于可靠的计量装置及其对激光功率和曝光设置的电子控制。它还具有自动光束形状、尺寸和位置控制,确保使用此步进器时结果一致。步进器的特点是维护要求低，只有偶尔的清洁和周期性的加热过程，以确保最佳性能。此外,TII机的能效极高,能耗较低。总之，NSR 2005I10C是一种革命性的晶片步进器，能够在晶片上高速准确地产生复杂的模式。它可靠、低维护、高效，使得芯片生产具有成本效益。