二手 NIKON NSR 2005 i10C #293606710 待售
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ID: 293606710
Stepper
Resolution: 0.45
Reduction: 1/5
NA: 0.57
Exposure wave length: i-Line
Expose field: 22 x 22 - 17.9 x 25.2.
NIKON NSR 2005 i10C是一种高精度、高性能的晶圆步进设备。由NIKON开发,其特点是曝光时间超短,吞吐量高。该系统专为最大限度地提高需要超快扫描的大型内存和高速设备的吞吐量而设计。它包括一个深紫外线准分子激光源,高精度光学,和一个集成的直接成像单元。NIKON NSR 2005I10C利用其高速成像能力和超短曝光时间进行多种晶圆隧道技术。其出色的过度扫描精度是精确光刻工艺的理想选择。该机具有可变成像角度,能够更精确地控制蚀刻图桉。NSR-2005I10C的光学特性为0.75的超高NA,提供超高精度和减少线性失真。高动态调制可确保精确的迭加精度,减少缺陷,并提高16 nm或更高的分辨率。简化的高级光学设计也减少了像差,提供了精确的晶圆处理。NIKON NSR-2005 I 10 C配备了各种增强性能的功能。该工具具有内置的自我监控功能,使操作员能够轻松地排除资产故障。此外,它的自动对焦功能大大提高了对焦位置的准确性和可重复性。此外,NSR 2005 I 10 C具有多级扫描模型,可通过多种模式区域快速扫描晶圆。该设备旨在提高光学设备的利用率,从而提高生产效率和吞吐量。简而言之,NIKON NSR-2005I10C是一种先进的高质量晶圆步进系统,设计用于精确、可靠、高效的晶圆处理。凭借其高速成像能力、超短曝光时间和多级扫描单元,这台机器非常适合大内存和高速设备应用。NIKON先进光学技术确保精确扫描和提高分辨率。它具有多种功能,可提供高吞吐量和优异的性能。
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