二手 NIKON NSR 2005 i10C #9085273 待售

NIKON NSR 2005 i10C晶圆步进器是一种用于半导体和光掩模制造的高精度曝光工具。它将出色的性能和分辨率与准确性和可靠性方面毫不妥协的标准结合在一起。这确保了当今使用的各种晶圆尺寸和应用程序的最高图像质量。NIKON NSR 2005I10C采用特殊的高耐力塑料涂层玻璃布局,具有转台级功能,旨在实现最小的阶段位置不稳定性。该转台采用集成电机驱动器和自动对准电机跨度,使晶圆上的精度高达+/-5 µm。晶圆可以在400mm × 400mm的范围内移动，重复率为0.3µm。晶片用1kW卤素灯、卤素光源和计算机控制的脉冲宽度调制驱动器照明。这样就可以使用精确可控的曝光参数来获得所需的结果。此外,先进的冷却系统可确保均匀的温度和最佳的曝光均匀性,以及更高的吞吐量。NSR-2005I10C配备了SynchroScan成像设备,由高级线性光电二极管和两个CCD组成。这种成像系统允许广泛的特性和功能，如自动临界尺寸测量、舞台对准、TTL对准、图桉峰值和多场印迹。所有这些都可以用高分辨率和高精度来完成，即使在检查低至0.4 µm或更小的结构时也是如此。NIKON NSR-2005 I 10 C晶圆步进器还提供了若干自动化和监控功能。这有助于减少体力劳动和防止错误。此外,步进器还设计有双端口输出箱和使用串行I/F或以太网的远程控制功能。这在远程操作、数据收集和步进器各种功能的控制方面提供了额外的灵活性。总体而言,NSR 2005 i10C提供了无与伦比的精确度、灵活性和性能。为了获得最大的图像质量,晶圆步进器提供了广泛的曝光参数以及自动化和监控功能,可帮助简化整个半导体制造过程。因此，NSR 2005 I 10 C晶圆步进器是制造半导体和光掩模所不可或缺的工具。