二手 NIKON NSR 2005 i10C #9205851 待售
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ID: 9205851
Stepper
Resolution: 0.45
NA: 0.57
Exposure wave length: i-Line
Reduction: 1/5
Expose field: 22 x 22 - 17.9 x 25.2
Alignment accuracy: 0.09 (|x|+3s).
NIKON NSR 2005 i10C是为满足半导体生产需求而设计的下一代高性能步进扫描设备。该步进系统提供了先进的图像处理算法和高可用性。NIKON NSR 2005I10C是一款领先的晶片步进器,利用公司专有的现代深层紫外线光源实现1.0 nm成像分辨率,具有优异的处理重复性。该单元的步进和扫描运动能力为客户提供了一个更有效的解决方桉,以满足所有光刻需求。NSR-2005I10C提供卓越的性能和可靠性,以及高度的自动化。其特点包括1.0 nm制造的高分辨率图像模式和敏感操作的10nJ/cm2低剂量模式。NSR 2005I10C还具有独特的图像处理算法和EasyRide智能控制器,可根据模式数据和过程条件监控和调整操作。该机器配备了许多自动化功能,可以减少手动干预的需求,同时帮助提高生产率和吞吐量。NSR 2005 I 10 C可同时加载多达100个晶圆,从而实现高效率的吞吐量。自动化检查工具还为用户提供高速晶圆和特征分析,使他们能够快速发现和解决问题。此外,该工具还具有强大的现场可编程门阵列(FPGA),具有图像传感器,每秒可读取和存储多达800次曝光。该资产还提供了先进的步进扫描子系统,并针对高精度对齐进行了优化。NIKON NSR-2005 I 10 C是一种可靠而强大的解决方桉,可满足一系列光刻需求。凭借其高分辨率的成像和固态自动化,客户可以确保输出的一致性和可靠性。该模型具有较高的吞吐量和先进的图像处理算法,易于管理各种设备的生产。
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