二手 NIKON NSR 2005 i10C #9227509 待售

NIKON NSR 2005 i10C是为半导体制造设计的光刻步进器。它能够在各种各样的材料中产生高度细化的图样，包括硅、砷化氙、金属合金以及其他半导体和介电材料。该i10C采用步进技术，使复杂的设计能够在基板上进行可重复和精确的设计。在步进技术中，图样使用紫外线束或电子或离子束蚀刻到晶圆或基板上。在光刻中，光束或电子束通过掩模被引导和聚焦到基板或晶圆上。然后将穿过掩模的光或电子施加到晶圆上，并创建图像。i10C配备了高NA镜头，分辨率为0.091µm，可实现高度精确的图桉。该系统还配备了先进的无扫描对准头，以提供非常高精度的三维图桉对准。它还具有子分辨率辅助功能（SRAF）功能,可帮助提高子分辨率组件的准确性和吞吐量。NIKON NSR 2005I10C设计具有多种安全特性，包括防污罩、灯帘和非接触式液体供应系统。此外，该系统还有多个内置传感器和探测器，用于监测步进器及其组件的运行状况。该i10C设计用于每小时处理多达200个晶圆,并针对最小的停机时间和最大的利用率进行了优化。它的高级功能允许灵活和一致的处理。步进器非常可靠,能够产生边缘位置低至10nm的阵列。综上所述，NSR-2005I10C晶圆步进器是一种高度先进的半导体和介电材料光刻机。它配备了高NA镜头和0.091µm的分辨率，以及一套安全特性和高级特性。这台机器能够以高达每小时200晶圆的速度产生极其精确的模式，其先进的功能提供了灵活可靠的处理。