二手 NIKON NSR 2005 i10C #9232572 待售
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ID: 9232572
晶圆大小: 4"
优质的: 1995
Stepper, 4"
MCS2 Basic
Option: SMP
Reticle loader
Stage
Operation panel
Wafer loader
Lens controller
Wafer sensor
System: NEST
Hard disk
Storage drive
Illumination type: Normal
Wafer stage:
Chuck type: Flat, 4"
Screw type: Ball
Reticle alignment: VRA, ISS
Reticle microscope: Movable
Wafer alignment: FIA, LSA
Auto focus: Multi
Wafer loader:
Loader type
OF Type: Flat
Flat zone: Flat
In-line: Right
Cassette: Left, Right
Control rack position: Right
Reticle loader: Reticle size, 5"
(13) Slots
No PPD
No barcode system
Chamber type ASAHI
1995 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C是由最先进的光学、传感器和精密扫描技术组成的晶圆步进器。主要用于半导体工业，用于精确制造集成电路等电子零件。NIKON NSR 2005I10C可容纳200毫米（7.87英寸）的最大晶圆尺寸，由多功能级、照明光学设备和尖端的前馈和区域扫描算法（FWA）组成。步进器的曝光场尺寸为30mm x 30mm,对准精度为0.75微米/器件。它具有超短波长（UV/DUV）照明比任何可比的工具，和可调节的照明控制和模式变形能力。NSR-2005I10C光学系统由优化光学系统和高精度多功能级组成。光学器件包括一个最先进的双远心组合照明和成像单元，其中物体镜头和成像镜头都是远心的。这样可以提高分辨率和对比度,并提供更广泛的照明视野。NIKON NSR 2005 I 10 C的多功能级提供了卓越的平整度、表面精度和平滑度,以实现精细精确的对齐。它还利用具有优越扭矩特性的电动机提供优越的精度和扫描速度。区域扫描算法（FWA）确保了高动态范围成像的精确和稳定对准.NIKON NSR-2005 I 10 C配备高性能成像机,可提供卓越的分辨率、对比度和吞吐量。它利用各种传感器和图像处理算法来确保高速和高精度的图像捕获。该工具能够处理子像素图桉,确保高度精确的图桉放置。NSR 2005 I 10 C旨在为具有挑战性和多样化的生产要求提供卓越的性能。其功能丰富的资产设计使其高度可靠,并提高了流程灵活性和可扩展性。步进器是先进集成电路生产的理想选择,具有较高的成本效益.
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