二手 NIKON NSR 2005 i10C #9236759 待售
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NIKON NSR 2005 i10C是一种尖端晶圆步进器,旨在满足高度自动化的半导体生产需求。这种晶片步进器利用了最先进的光学、精密的电机控制和高速通信设备来提供高效和准确的数据传输。NIKON NSR 2005I10C坚固的机械设计采用先进的X-Y级和高速、高精度的快速轴扫描系统,快速定位基板和晶圆。晶片步进器还具有一种非接触、无破坏性的加载方法,可用于安全装载和卸载多达50个基材或晶片。集成的边缘夹具使步进器能够很好地处理薄的或扭曲的晶片和基板,同时确保它们保持安全定位。该i10C的光学器件采用4 ×物镜、10微米光斑大小激光和200/254毫米的扫描场,以提供最准确可靠的晶圆成像。激光的速度可以从每秒16到40,000次扫描调节,能够达到高达0.4微米的分辨率。先进的光学机器带有表面感应相机,用于在成像前确定样品的聚焦位置。此外,板载地形计算还提供了成像过程中曲面的自动校正。此外,NSR-2005I10C有一个先进的通信工具,允许步进器通过以太网、RS 232和Powerbronze协议进行直接通信。此功能可完全控制晶片步进器,并为操作员提供连续的实时状态。总之,NSR 2005 i10C是业界领先的晶圆步进器,它提供了比竞争步进器更好的精度、速度和精度。凭借其先进的光学设备、先进的X-Y级、通信资产和表面感应相机,该晶圆步进器能够为高度自动化的半导体生产提供最佳的性能和成本节约。
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