二手 NIKON NSR 2005 i10C #9236760 待售

NIKON NSR 2005 i10C晶圆步进器是一种用于制造先进半导体产品的高端仪器。它是一种全自动的步进重复光学显微光刻设备，能够成像大尺寸晶片。该系统能够生产尺寸介于6到12英寸之间的晶圆级光学器件。NIKON NSR 2005I10C是NIKON NSR系列高端光刻系统的一部分。NSR-2005I10C提供卓越的性能和成本效益。该单元利用交替双场光学成像技术在两个视场上产生高曝光均匀性，最大限度地减少一次在晶圆大面积上的打睡曝光变化。双场光学技术允许25毫米大小的大曝光场，使这台机器能够在一次拍摄中成像大的基板区域。NIKON NSR-2005I10C有一个独特的曝光单元，是同类中最好的之一。曝光单元由可重新配置的冷凝器透镜、光快门和带有电极和挡板的晶片卡盘组成。该工具利用三个电动级来执行图像到基板的重新张紧、长宽比和重定向。此曝光单元可提供高曝光均匀性、低工艺变化和低停机时间。NSR-2005 I 10 C还采用了多头/多束成像资产，能够在一个曝光过程中产生多个曝光场。该模型能够产生非常小的特征尺寸，准确的覆盖位置，以及在广泛的抵抗暴露条件下卓越的成像质量。该设备在X轴、Y轴和Z轴上的总精度为1.5微米，能够分辨率降至0.2微米。该系统具有干式清洁功能,不需要湿式处理。NSR 2005 I 10 C设计为用户友好高效,提供自动基板对准、自动曝光优化、实时照相标线检查以及对多个ID和孔径设置的曲线拟合分析。该单元还提供了具有多语言支持的图形用户界面（GUI）。GUI允许用户轻松访问机器的专业映像功能。NSR 2005 i10C是一台可靠、功能强大的晶圆步进机,旨在满足要求最苛刻的光学显微光刻应用。它提供了卓越的性能和成本效率,并且可以在各种抗暴露条件下产生出色的成像效果。该工具具有实时照相标线检查、干洗功能和用户友好的GUI功能,便于访问机器的成像功能。