二手 NIKON NSR 2005 i10C #9239348 待售
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NIKON NSR 2005 i10C Wafer Stepper是一种用于创建集成电路和其他半导体组件的精密成像机。这一设备经过设计,可以精确地制造晶片和芯片。它可以在晶圆的每一层上创建模具图桉、接触孔、通孔和其他电路几何形状。NIKON NSR 2005I10C光束光斑大小为5 um,数值孔径为0.47.它配备了10英寸的F2.5光学设备和0.75X还原镜头,使其拥有优越的图像质量。它还拥有一个DUV(深紫外线)源、一个Mx860光束位置控制器以及其他各种下一代组件,使其成为市场上最先进的晶圆步进器之一。步进器能够达到高达0.08微米的分辨率,同时仍保持优越的迭加控制。它还能够处理范围广泛的功率级别,最高可达10瓦,并且可以处理高达45秒的曝光时间。此外,该机械还设计用于处理一系列基板,包括硅、石英和玻璃。为了确保晶片得到正确的处理和蚀刻,NSR-2005I10C还具有各种传感器和对准系统,以帮助精确对准晶片。它包含一个3 D对齐系统、一个阵列定心单元、一个微束对齐机和一个模具选择工具。此外,在成像过程中使用空气承载台确保晶片的处理精细。NIKON NSR-2005I10C的设计能够高效、精确地运行,从而能够产生缺陷最小的高质量图像。它能够与广泛的基板配合使用,在创建集成电路时允许更多的多功能性。此外,它的精密成像能力结合在一起,以最小的努力产生优异的效果。
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