二手 NIKON NSR 2005 i10C #9311681 待售
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已售出
ID: 9311681
晶圆大小: 6"
优质的: 1994
Stepper, 6"
NEMA Box electric source
ASAHI N1A Chamber
Chamber width: 1800 mm
Temperature:
Chamber / LTC / IATC: 23°C
Computer type: PDP11/93
HP 5517B Laser
LSA Laser: 10 mW
Fixed reticle microscope
NIKON ITV Camera
Wafer type: 6" Flat type
Silicon wafer
OF Detection: NIKON Original Type
Wafer loader: NIKON Type2 (A1)
Reticle library slots: (13) Main slots
Wafer carrier table: Left and right
Reticle, 6"
LSA / FIA Sensor
Bar code reader
Rack type: Normal right position
Set atmospheric pressure: Normal
Altitude: Ground level
Constant Backup data
No Edge exposure
No PPD
No inline
1994 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C是提供高精度光刻解决方桉的最先进的晶圆步进器。凭借其先进的曝光技术,NIKON NSR 2005I10C可用于产生高分辨率的图桉和形状。它是制造集成电路、微机械元件和微机械的高度先进的曝光设备。NSR-2005I10C提供7.2毫米x 7.2毫米的视场和0.18 µm的理论最小矢量。其步进电动机提供了高速度、高效的投影光学对准。该系统还配备了一个曝光控制单元,该单元允许可编程的总体曝光时间和剂量率,以便对任何设备进行优化处理。NIKON NSR-2005I10C提供了用于生成复杂形状的高级曝光模式,如多光纤、月球、网格和可变PR掩码模式。这些同时将晶片以多种模式暴露出来,并允许在半导体器件上制造高长宽比结构。此外,NIKON NSR-2005 I 10 C还配备了多用途标线更换器,使用户能够从许多不同的标线中进行选择,从而提高灵活性并改进成像选项。为了提供最大的图像质量,NSR 2005I10C配备了高效的光学单元,允许极小的光信号像差。另外,晶片步进器配有两个物镜,可用于产生不同的分辨率水平。NSR-2005 I 10 C具有内置的安全功能,可检测任何异常高的温度或湿度,并自动关闭机器。此外,该工具还设有一个集成的粒子计数器,它允许用户检测成像资产中存在的任何粒子。NSR 2005 i10C是高分辨率、低成本光刻解决方桉的理想选择。其先进的曝光技术和高效的光学模型使其成为制造集成电路、微机械元件和微型机器的绝佳选择。
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