二手 NIKON NSR 2005 i10C #9378020 待售

NIKON NSR 2005 i10C是晶圆步进器，是一种计算机控制机器，用于在晶圆表面产生集成电路（IC）光掩模图样。这种步进器使用高分辨率的影像投影来精确地将掩模图桉转移到晶圆上。NIKON NSR 2005I10C设备设计用于使用激光扫描投影系统将单层掩模传输到晶片上。它能够将高精度和高速的光掩模图样传送到晶圆上。扫描仪使用通过旋转孔径聚焦到晶圆上的激光。扫描仪具有快速扫描和重复对准功能。投影单元设计为提供高水平的对准精度，并保持"纳米级"的配准误差。NSR-2005I10C由多个组件组成,这些组件协同工作以提供高精度和高性能。这个晶圆步进器包括一个图样发生器、一个光掩模、一个标线级、一个四轴反射模块、一个图像传感器和一个物体透镜。模式发生器负责产生投影到晶圆上的模式。Photomask是一个平版印刷模板,其中包含将打印到晶圆上的图样。标线级是一个自动平台，它持有光掩模，并将光掩模移动到正确的位置，供激光扫描。四轴反射模块是一种控制装置，旨在测量和调整晶圆的四个自由度（X、Y、Θ x、Θ y）。图像传感器附着在物体镜头上，用来捕捉投射到晶圆上的图像。物体透镜负责将激光投影机聚焦到晶圆上。NIKON NSR-2005I10C工具旨在向晶片提供高精度和高速的照片掩码。它能够传输具有非常低的注册错误级别的高分辨率模式。它还能够提供快速扫描和步进重复对齐功能。此外,此晶片步进器还包括许多功能,例如集成的自动曝光调整资产、高水平的对齐精度和阵列生成工具箱。总体而言，NIKON NSR-2005 I 10 C晶圆步进器是一种计算机控制的机器，用于在晶圆表面产生集成电路光掩模图桉。它旨在在晶片上提供高精度和高速的照片掩码,并包括许多提供高精度和高性能的功能。