二手 NIKON NSR 2005 i10C #9389865 待售

NIKON NSR 2005 i10C Wafer Stepper是一种通用、高性能的半导体器件制造工具。它设计用于经济高效地执行高达0.25 μ米的高分辨率光刻工艺。该设备具有先进的设备特点，如高精度样品运动；抗环境振动的高稳定性；和自动对焦，这有助于样品对齐。晶圆步进器结合了高分辨率的光学投影和包括光学接近校正（OPC）在内的广泛的工艺范围。这使得它非常适合细线VLSI生产和纳米级器件制造的苛刻要求。晶圆步进器配置有两个激光干涉仪，两级，一个双层光刻头和一个加热的负载锁。双层光刻头能够高分辨率0.15 μ m曝光，并且能够在一次曝光中容纳几个曝光场。加热的负载锁消除了对长期机械稳定性的需求，使得能够在短曝光时间内产生高质量的模式。晶圆步进器配备了多项功能，以帮助确保更大的稳定性，如气动舞台、音像噪声水平监测、温度和压力控制以及减振系统。气动级准确定位样品，达到最大精度和稳定性。音像系统监控机器的噪音水平，当检测到异常声音时，单位会立即向操作员发出警报。此外,该机器还提供出色的曝光和覆盖功能。曝光功能提供高分辨率和对比度的卓越图像质量,而迭加功能则提供精确的图桉对齐,通过最小公差组件实现高处理精度。晶圆步进器是在短曝光时间内生产高精度图桉的绝佳选择。它提供卓越的分辨率和准确性,并且在吞吐量和产量方面都具有很高的生产率。该工具安全多用途,可根据各种流程和应用程序进行定制。