二手 NIKON NSR 2005 i10C #9408135 待售
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ID: 9408135
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
Stepper, 8"
Control rack
KOMATSU BCE-5051-A Chiller
Electric source: NEMA Box for CVCF
(2) NEMA Switches
Computer type: NEST3
EPROM Chamber:
Type: SENDAI S04
Body size: 1950 mm
Set temperature:
Chamber: 25°C
IATC: 25°C
LLTC: 25°C
ROM Version:
Reticle:
Loader: RL-04V7.00
Stage: RA-81V1.70
Wafer:
Stage: ST-63V3.50, XY-63V2.90
Loader: WF-80V3.70
Sensor: WA-6DV2.50
Operational panel: PA-61V2.51
Lens controller: LC-6NV2.20
HEWLETT PACKARD 5517B Laser:
Lamp power: 1.75 kW
LSA Laser: 5 mW
Fixed reticle microscope: 20 mm
Wafer type: SILICON, 8"
Wafer stage: Ball screw
Chuck type: Ring
OF Detection type: Notch, 8"
Wafer loader: Type1
Notch wafer type: 90°
Right wafer carrier table
Reticle, 6"
FIA
Reticle library type: NIKON
13-Slots
Rack type: Right
SHRINC
Does not include:
In-line
LIA
PPD / PD
1995 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C是一种用于半导体制造的高端、超精确晶圆步进器。它是一种先进、适应性强的机器，能够以极高的精度和可重复性生产芯片和其他组件。NIKON NSR 2005I10C有一个自动化的、经过改装的远心光学设备，带有200毫米晶圆平台。光学系统提供出色的光覆盖和清晰度，并且可以调整以适应各种晶圆尺寸。光学器件也经过彩色校正，能够产生纳米分辨率的图像。该i10C还拥有高速10百万像素（MP）相机和高分辨率镜头，可快速准确地捕捉图像。该相机经过特殊设计，能够捕捉从高频照明到紫外线的各种频率，以便在拍摄图像时获得最大的对比度和清晰度。步进器能够以每小时5000次曝光的速度产生高质量的图像,每像素高达10mm的高分辨率。图像以9.6 GB/秒的速率捕获,并存储在2 TB固态驱动器中。i10C的高速和大存储容量确保不会丢失任何数据。NSR-2005I10C还有一个强大的对齐单元。它采用5轴校正技术，可以对物理和电子元件以及光学器件进行调整，以确保对准和准确性。对齐机允许对芯片元件进行极其精确的加工和微加工。该i10C设计方便维护,能够进行自我诊断和预防性维护。该工具可以连接到诊断服务器以进行远程监视。该机器还具有直观、用户友好的操作资产，甚至允许新手操作员高效使用它，并从步进器中获得最佳效果。NSR 2005 i10C是一种功能强大、精确且可靠的晶圆步进器,可以快速、准确地生成超高质量的图像。凭借先进的光学、高分辨率相机和强大的对准模型,它非常适合制造复杂、超精确的组件。
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