二手 NIKON NSR 2005 i11C #9213592 待售

NIKON NSR 2005 i11C
ID: 9213592
晶圆大小: 6"
Stepper, 6" Reticle: 6".
NIKON NSR 2005 i11C是NIKON生产的高精度晶圆步进器。它设计用于半导体行业的一系列应用,在这些行业中,硅片的精确制造至关重要。该i11C具有广泛的功能,能够实现极高精度的晶圆处理。NIKON NSR 2005 I 11 C配备了具有失真校正功能的直列式两级F2镜头和图像高度监控设备。这样可以精确控制舞台运动和抑制聚焦过程中的像差,从而获得最大的精度。此外,晶圆步进器还具有部分相干干涉仪成像系统,可在大型自由形状曲面上实现顶级精度。此单元支持范围广泛的晶圆尺寸和厚度。NSR 2005 i11C还配备了一个新的内置抵抗暴露机。该工具采用内置光源和缓坡光学器件,减少了光损耗,甚至允许暴露在狭小的空间中。此外,步进器还包括一个创新的保护外壳,可保护光学器件免受污染物的污染,并保持稳定的温度以实现稳定的光学性能。NSR 2005 I 11 C另外还包括高速、高精度的延迟电动机。这有助于最小化晶片扫描过程中的振动。此外,步进器还包括精确的级控制,允许在大型晶片上均匀定位小芯片。此外,NIKON NSR 2005 i11C的高级相机资产确保了晶片在处理过程中的精确对准。NIKON NSR 2005 I 11 C是一种强大的晶圆步进器,提供了令人难以置信的精确度和精确度。这种设备具有图像高度监控系统和保护外壳等多种特点,可以方便地制造出精确对准和高分辨率的晶片。
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