二手 NIKON NSR 2005 i11D #293758564 待售

NIKON NSR 2005 i11D
ID: 293758564
Stepper.
NIKON NSR 2005 i11D是一种晶圆步进器,用于半导体制造工艺。它适用于半导体生产和商业应用。它有一个经过重新设计、更紧凑的操作面板和许多改进,以加强操作。提高的精度允许高速生产。该设计可提高生产率、降低成本和提高材料利用率。NIKON NSR-2005I11D有一个最大数值光圈为0.75的镜头,提供了先进的光刻性能,使图像深度更深,产量提高。它配备了全新的全自动光圈,可实现更高分辨率的成像性能。该步进器的光学引擎设计用于大容量晶圆制造。步进器有一个重新设计的真空卡盘,这导致快速和精确的晶片加载和处理。这有助于提高吞吐量、降低缺陷率和提高生产率。其用户界面提高了可见性。经过升级以提高生产速度的晶片级还配备了全自动对焦设备,确保始终准确对焦。NSR 2005 I 11 D利用了一个新的闭环功能控制系统。该装置采用高速准分子激光源和高度优化的成像机,提供快速准确的结果。此功能有助于降低标线降解率,进一步提高生产率。晶圆步进器还结合了先进、精确的晶圆对准系统。晶圆座提供步进器上晶圆的安全对准。改进的对齐算法确保了一致的对齐,并确保晶片保持在最佳成像位置。NSR 2005 i11D还配备了多站配置的设备处理工具。它与多个晶圆传递室兼容,允许增加能力,如一次使用多个晶圆或对空气敏感的基板使用环境室。资产还规定了成品晶片的自动进料。NSR-2005I11D还具有灵活性,允许用户根据特定需求定制模型。集成软件平台提供增强的定制和集成能力,使用户可以根据需要轻松配置设备。集成还提供晶圆的同时处理,确保一致的结果.最后,NIKON NSR 2005 I 11 D配备了全面的诊断和维护系统。此设备能够快速诊断和解决步进器的任何问题,并防止任何停机。此外,还会在每个曝光周期结束时生成一份全面的诊断报告,以确保最佳调整所有流程步骤。
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