二手 NIKON NSR 2005 i11D #293813221 待售

NIKON NSR 2005 i11D是一种最先进的晶圆步进器,旨在快速准确地生产用于半导体生产的光掩模。先进的晶圆步进器具有非常大的舞台，行进距离为800 x 900 mm。它配备了两个独立控制的级，用于双面对准和提高精度。通过多种计量和对齐选项,NIKON NSR-2005I11D可以精确、精确地复制即使是最复杂的蒙版设计中的图桉。NSR 2005 I 11 D先进的激光和光学系统非常适合高精度应用。台阶和重复光刻设备采用了最先进的超稳定光学平台，而各种各样的照明模式选项使其非常适应不同的晶圆尺寸。基于激光的机构经过了设计和优化，可提供高达0.3微米的分辨率，具有高度精确的放置精度。此外,NIKON NSR 2005 I 11 D具有创新的AutoAligner,非常适合在多层生产过程中保持最高的准确性和对齐度。系统还支持非常大的视野，最大视野为28mm x 28mm，最小视野为3mm x 3mm。图像传感器灵敏度高，是低k1应用的理想选择。NSR-2005I11D先进的控制单元进一步优化了光刻性能。它总共有四个单独的剂量控制器，可以用来分别调整每种模式的暴露剂量。此外，该机还支持广泛的曝光滤波器选择和剂量工具的自动调整，以便于优化光刻需求。其先进的设计使其成为高效光刻的完美资产。NSR 2005 i11D是一系列需要高精度、高产光掩码解决方桉的行业的理想解决方桉。凭借其先进的设计、可靠的操作和易于调节的曝光设置，它是一系列复杂、低k1光掩模应用的完美选择。