二手 NIKON NSR 2005 i12D #293813222 待售

NIKON NSR 2005 i12D Wafer Stepper是一种最先进的、高度精确的晶圆步进器,旨在在半导体晶圆和精密元件上产生复杂的阵列。这台机器提供0.1纳米的分辨率，提供出色的图样精度和可重复性，并确保高吞吐量，非常适合所有4"、5"、6"、8"和12"晶圆。NSR 2005 i12D Wafer Stepper采用高度可靠的"冷扫描"技术进行设计,通过消除强大的晶圆扫描电动机引起的热漂移,实现一致和精确的模式。这样可以实现小于10纳米的超精细级运动,并具有获得专利的"亚纳米"级精密注册系统,可实现高精度甚至图样化。此外,该机器还采用快速启动模式来缩短模式和激活时间,并采用内置清洁模式来防止晶圆和光学器件上的灰尘颗粒堆积,从而实现高度可靠和一致的晶圆模式。NIKON NSR 2005 i12D Wafer Stepper利用先进的高速Galvo扫描光学器件提供最大分辨率和稳定且可重复的图像精度。专用光学器件的放大倍率范围很广,放大倍率范围在1.0 μ m/步长到0.1 μ m/步长和可变图桉遮罩尺寸之间。此外,步进器的轻巧、紧凑的框架旨在增强操作员的舒适性和整体易用性。总体而言,NSR 2005 i12D Wafer Stepper是一个极其精确和高效的晶片阵列系统,旨在提供最高质量和准确性。NIKON NSR 2005 i12D Wafer Stepper具有最大12英寸晶片阵列的功能,是晶片阵列在高级半导体加工中的理想选择,其目标应用要求最高的精度和吞吐量。