二手 NIKON NSR 2005 i12D #293817940 待售
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ID: 293817940
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.5-0.63
Resolution: 350 nm
DCO: 60
MMO: 70
Throughput (WPH): 70.
NIKON NSR 2005 i12D(Metrology Stepper)是为高精度计量和晶圆制造而设计的先进晶圆步进器。步进器具有广泛的特性和功能,使其成为研究和生产应用程序的理想选择。NSR 2005 i12D有一个12英寸的扫描字段,它提供了比大多数其他可用步进器更大的曝光面积。这种步进器具有高分辨率,高达0.65微米,并且能够连续处理多达十二种不同的图像模式。它包括一个低振动、高动态对准系统,在暴露过程中保证相对精度。NIKON NSR 2005 i12D具有高速舞台设计,能够实现高精度的对准和精细的移动控制。它还有一个先进的晶圆模拟成像系统,允许高精度的控制和曝光。NSR 2005 i12D还提供了可靠和高效的曝光过程,这对生产应用非常重要。NIKON NSR 2005的高速i12D加上低噪声水平,确保了对校正的快速稳定响应,因此可以优化和控制曝光时间。对于计量应用,NSR 2005 i12D能够提供测量和监视过程参数所需的绝对精度,这些参数对于成功的制造过程至关重要。步进器还具有集成的高精度步进电机和激光干涉仪,可为每次曝光提供测量和高度可重复的参数。此外,NIKON NSR 2005 i12D还具有超长曝光范围、高级粒子检测、优化基板检测以及用于检查和测量的高级摄像头接口等高级功能。它可以连续监测基板表面,获得最高的精度和重复性。NSR 2005 i12D包括一个集成的图像处理系统,允许用户通过实时反馈监视曝光过程。总体而言,NIKON NSR 2005 i12D是一种功能强大且可靠的晶圆步进器,专为高精度计量和晶圆制造而设计。其广泛的特性和能力,加上高速、低噪音、高精度,使其成为研究和生产应用的理想选择。
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