二手 NIKON NSR 2005 i6 #293652747 待售

NIKON NSR 2005 i6是一种晶圆步进器，设计用于处理大批量和高溷合生产。它提供卓越的吞吐量性能,提供4到6英寸的基板尺寸,速度比同类NIKON系统快2.5倍。该设备采用"智能曝光"计算机控制系统，可自动调整照明和曝光时间，从而在任何类型的抗蚀剂上达到最佳效果。NSR 2005 i6具有高性能的双曝光头,可以快速处理复杂的晶圆模式。曝光头采用卤素和汞灯的组合，以尽量减少紫外线照射，并尽量减少由于曝光时间和强度而引起的抗拒模式变化。曝光头使用高分辨率的四分之一微米标线和精确的高放大投影光学器件，以确保高分辨率的图像和均匀性。曝光头具有可调谐的光照强度，可以快速适应不同尺寸和类型的光致抗蚀剂。这些光学器件是为非常低的失真水平而设计的，消除了图像失真，使设备对于先进的光刻应用极为精确。NIKON NSR 2005 i6是一种可重复、无与伦比的精密步进器，拥有最先进的光学系统之一。该机器提供了非常低的对准误差水平，可以快速容纳不同尺寸和抗蚀剂的基板。该工具旨在提供高吞吐量和出色的一致性,即使在高溷合生产环境中也是如此。最后,NSR 2005 i6配备了能够处理任何类型算法的高性能控制器。它可以方便地对坐标和曝光时间进行编程，包括自动对焦、边缘和中心确定以及一般的可编程逻辑等功能。这可以释放操作员专注于更复杂的任务,同时提供高吞吐量和统一性。