二手 NIKON NSR 2005 i6 #9269102 待售

NIKON NSR 2005 i6是一种晶圆步进器，为各种应用提供高分辨率成像。它为柔性处理提供了广泛的曝光参数，旨在为一系列掩模和电路模式提供可靠的操作和高产率。该机为5轴设备，具有独特的设计，允许从腔室的正面、侧面和顶部可见。它配备了自动对准系统，以确保在曝光时标线和晶片的精确对准。NSR 2005 i6采用了完美的步进方法,即使是最复杂的特征也能实现极其精确的图像放置。这项技术允许以最小的配准误差~ 0.5 nm分辨率,并且可以进一步优化曝光参数以获得更高的精确度。红外对准装置还能够提供各种电路模式的精确迭加对准，机器的3D对准补偿晶圆和标线之间的任何倾斜误差，从而能够对极小的特征进行成像。NIKON NSR 2005 i6有一个自我调节的全闭环扫描工具，以确保即使是最具挑战性的光掩模的分辨率。此资产可实现高效的注册准确性,并最大程度地减少生产过程中的缺陷影响。该工具还配备了内置的图像评估模型,以确保每次曝光时都能产生高质量的图像。NSR 2005 i6利用集成的载波和晶圆处理程序来提高吞吐量和效率。集成的空气轴承式处理机提供精确的操控和最佳的表面保护。该设备还配备了低凹凸阻力装置，以减少颗粒的附着力，优化花纹边缘的打印。该技术有助于控制模内变异,并与综合图像评估相结合,产生一致的高产率。NIKON NSR 2005 i6配备了可靠性监控和支持子系统等多种功能，如Reflow烤箱和颗粒监控系统，可帮助进行持续维护。该工具还配备了以太网连接,可轻松访问和与网络中的其他节点通信。这样可以轻松跟踪刀具状态,并在过程优化过程中提供进一步的支持。