二手 NIKON NSR 2005 i7 #9269107 待售

NIKON NSR 2005 i7
ID: 9269107
晶圆大小: 5"
Steppers, 5".
NIKON NSR 2005 i7是一种晶圆步进器,是用于光掩模制造的先进光刻工具。用于生产半导体、平板显示器和其他微机电装置。NSR 2005 i7是流行NSR-2004的显着升级版,提供了更大的步进占用空间、更快的操作和更好的图像质量。NIKON NSR 2005 i7拥有先进的光学器件,增加了场曲率补偿。这样可以确保图像聚焦,并且曝光精度在整个晶片的所有区域上都是一致的。光学器件全部封闭,增加了设备的稳定性,以减少产生生产误差的可能性。NSR 2005 i7有两个暴露水平--高和低。这样可以提高准确性和灵活性。高设备设置提供了更高的分辨率和更低的误差范围,而低强度设置允许更快的曝光时间。NIKON NSR 2005 i7提高了容量,提高了运动精度。晶圆步进器面积的增加提高了产量,减少了生产停机时间。步进电机的提高速度减少了曝光时间,进一步提高了光刻机的生产率。NSR 2005 i7虽然是为光掩模光刻而设计,但也可用于线格栅光掩模和晶体生长板。另外,NIKON NSR 2005 i7可以支持各种图像格式,例如二进制、半灰色和Z形。步进器具有磁心能力,确保晶片完美居中。此外,内置的在线检查系统可检测到生产过程中出现的任何不幸错误,例如未对齐。NSR 2005 i7还有一个运动干涉仪,用于测量、评估和补偿任何类型的位移。NIKON NSR 2005 i7具有通用的体系结构,允许客户根据其特定要求配置设备。NSR 2005 i7由基于PC的操作机器提供支持,并附带一整套软件,包括刀具控制器、参数设置器、对齐器和生产监视器。这些可以完全控制整个光刻过程。总体而言,NIKON NSR 2005 i7晶片步进器是一种先进、通用且功能强大的光掩模光刻资产。其改进的光学元件和更高的精确度结合了高吞吐量和全封闭结构,使其成为需要可靠光掩模生产的各种行业的理想选择。
还没有评论