二手 NIKON NSR 2005 i8 #190066 待售

NIKON NSR 2005 i8是一种最先进的晶圆步进设备,它将高精度光学器件与自动化集成在一起,可实现各种基板的精确阵列。NSR 2005 i8包含用于生产工作环境的高级功能,包括快速标线、即时扫描、高对齐精度、高生产率和低拥有成本。步进器也经过优化，可用于计量应用的先进测量和检查设备。NIKON NSR 2005 i8以获得NIKON专利的Pulse Drive技术为基础，设计为高吞吐量，最大吞吐量可达每小时200晶圆。Pulse Drive技术可减少色差,并允许更快的扫描速度,分辨率高达25 nm。NSR 2005 i8包括一个减少色度系数的非球面透镜，这有助于提高光刻的均匀性和减少设置时间。该系统还具有完全可扩展性,可用于各种生产设置。NIKON NSR 2005 i8能够处理高度复杂的模式,包括线宽降低到0.3微米。该单元还集成了一个独特的分期机，使多个曝光区域能够按一个序列进行批加载和处理。NSR 2005 i8采用全自动晶片处理技术,可确保最大程度的刀具性能和准确性。NIKON NSR 2005 i8集成了多种计量和缺陷检测工具，使其非常适合大批量生产应用。该资产具有高级报告和日志记录功能,允许用户跟踪模式暴露错误并确定趋势。NSR 2005 i8还集成了一个基板对齐监控器,该监控器有助于减少基板倾斜对齐错误并提高吞吐量。NIKON NSR 2005 i8设计坚固可靠，具有温度过高保护、无污染环境和集成安全模型等特点。NSR 2005 i8是一款多功能设备，能够处理各种应用，从半导体生产到印刷电路板制造。NIKON NSR 2005 i8还与各种附件和软件组件完全兼容，提供了完全集成可靠的光刻解决方桉。