二手 NIKON NSR 2005 i8 #9016036 待售

NIKON NSR 2005 i8是一种高性能晶圆步进器，设计用于低批量的中试生产和晶圆碰撞应用。它配备了一个高分辨率的12英寸晶圆级和一个刚性框架，用于精确和可重复的晶圆对准和放置颠簸。i8具有8英寸步进柱和两级旋转功能,可实现宽范围对准和最大投影倍率高达750倍。步进器配备先进的照明系统，提供晶圆观测和照明的精确控制，以实现最佳的图样稳定性。先进的0.75微米分辨率（低至0.3微米频率）为具有最小线宽的均匀、锐利且定义清晰的图桉提供了出色的对比度和定义。它还能够检测用于计量和检查应用的低对比度移相器。I8进一步配备了多重曝光模式，以最大程度地减少处理时间，提高光刻作业的多功能性。其亲通量技术根据模式大小、曝光条件、晶圆加载状态和附加符号动态调整步进参数。这允许操作员在从较大特征尺寸过渡到较小特征尺寸时快速调整参数。先进的晶片加载系统确保了晶片处理的增强。该系统采用独特的加载接口设计，使操作员能够从上到下快速移动晶片，以加快进程。它还集成了晶圆柔膜处理功能。NSR 2005 i8是一种经济高效、高性能的晶片步进器，旨在满足低批量生产和晶片碰撞工艺的要求。它旨在为一系列晶圆步进器应用提供最高分辨率和准确性，是住宅半导体制造工艺的理想选择。