二手 NIKON NSR 2005 i8A #293689926 待售
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ID: 293689926
晶圆大小: 6"
优质的: 1991
Stepper, 6"
Wafer stage: Ball screw style
(2) Wafer loader indexers
Wafer loader type: KEYENCE and OMRON sensors for clear wafers
Wafer loader pre-alignment 2
Wafer type: Flat
Illuminator type: 1500 W
Reticle libraries
Reticle load / Unload arms: Open / Close (20 mm)
Ceramic ring chuck with pre-alignment
Focus calibrate
TTL Reticle alignment
Resolution: 0.5 micron
Computer type: PDP11
Reticle size: 5"
Barcode reader
Autofocus: Single point
Movable microscopes: 15/17.5/20 mm
LLTC: Standard air
LIA
FIA
LSA
Chip levelling
ISS
SEC2
No PPD
1991 vintage.
NIKON NSR 2005 i8A是一种高度精确可靠的全场晶圆步进器。该设备提供了一个先进的平台，实现精密基板的高吞吐量生产，具有优越的模式识别效果和较低的整体吞吐量时间。NIKON NSR 2005I8A的分辨率围绕一个高度先进、分辨率μ 0.4米、基于扫描的照明系统，利用32步垂直视场。步进器还具有多向模式识别单元，使其能够快速检测和放置任何形状的基板。NSR-2005I8A配备了完整的5轴能力，包括3个旋转轴、两个X-Y平移轴和一个Z轴。此设置允许步进元件和基板的最精确定位和对齐。此外，NIKON NSR-2005I8A采用高精度光学平台、直驱电机和基于FEM的高通量对准算法。这种先进的工具可以提供卓越的模式识别结果和快速的吞吐量时间，使它能够高效地处理复杂的基板。此外,NIKON NSR-2005 I8A还配备了多种功能,可提供更大的用户控制。这些功能包括多工具功能,使操作员能够即时在不同的光学元件之间快速切换。此外,NIKON NSR 2005 I 8A还包括一个独特的几何特征,称为"散焦偏移资产"（Defocus Offset Asset）,它旨在帮助减少因散焦错误引起的光学成像问题。最后,NSR 2005I8A还具有集成工具的综合模型。这种设备便于将步进器连接到各种其他组件和程序。这些集成工具为步进器提供了一个窗口,使操作员能够利用各种软件和硬件工程应用程序。总之，NSR-2005 I8A是一种高度先进的特征填充晶片步进器。该系统配有0.4米分辨率μ基于扫描的照明单元、旋转5轴设计、先进的集成光学和电机系统以及一套强大的集成工具。这些特性加在一起,可以实现快速的吞吐量时间,并以最高的精度和精度准确地放置任何形状的基板。
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