二手 NIKON NSR 2005 i8A #9202299 待售

NIKON NSR 2005 i8A是一种先进的、高度精确的步进器，用于半导体和纳米加工作业。它以最新的NIKON运动控制平台（MCP）为基础,提供卓越的性能、速度和准确性。全自动系统能够以更高的吞吐量和分辨率进行光学和光刻工艺。这个晶片步进器配备了先进的软件控制一个保护石英真空室和高速图像场扫描。它能够处理8英寸晶片和3.5英寸标线。它是一种高效的工具，利用光照射将图样精确快速地传递到晶圆上。该晶片步进器使用两种类型的透镜系统：无穷大校正光学器件和晶片涂层光学器件。第二个透镜使系统在制图过程中更加高效，使其能够以更高的效率跨层制图。它可以精确地实现亚微米特征的无变化模式，减少图像失真，最小总曝光剂量为+/-0.5%。该i8A能够达到高精度，甚至达到纳米级。重复精度± 0.001mm，曝光精度± 0.02mm。该步进器还具有16个曝光步骤的快速曝光功能，减少了曝光时间并提高了曝光精度。由于其先进的自动化，它还提供了快速的晶圆传输速度，吞吐量为每小时8个晶圆，从而产生最大的产量和吞吐量。先进的软件还可以减轻操作员的负担,提高产品质量并降低成本。NIKON NSR 2005I8A的精密设计和性能使其成为寻求精确步进技术生产高质量产品的用户的理想选择。它结合了卓越的精度、速度和生产率,所有这些都包含在一个经济高效的解决方桉中,使其成为芯片生产的首选。