二手 NIKON NSR 2005 i8A #9248587 待售
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NIKON NSR 2005 i8A是一种晶片步进器,是一种自动步进器,用于将微电子电路和结构打印到基板上,如晶片、模具、PCB。主要用于半导体工业制造集成电路、电路板等电子元件。此步进器提供了卓越的精度和灵活性,即使是最复杂的设计也能提供高精度的基板曝光。它拥有高性能的光学设备,由NIKON独有的SICM(镜面强度控制测量)技术增强,优化了整个晶圆的曝光均匀性和对准。NIKON NSR 2005I8A提供高速成像曝光,具有高达7200w/hr的高吞吐量能力。该系统最多可容纳6个曝光头和5个对准系统,具体取决于配置,该配置会自动调整以适应从2"到12"的各种晶圆尺寸。它还具有一个自动化的基板处理单元,便于装卸。此外,机器还具有多种分辨率设置,可跨多种设备结构提供精确成像。晶片步进器具有更小、更轻的CCD,具有较宽的光敏区域,可提供高速曝光和在大面积上连续聚焦。此外,步进器还具有先进的扇出控制工具,该工具可调整曝光以适应目标设计,减少有害的曝光,并消除与大型多投影系统相关的任何像差。NSR-2005I8A晶片步进器还包含一个先进的设计验证资产,它在设计模式和晶片模式之间进行实时图像比较。这样可以确保精确打印设计的结构,并消除任何潜在的错误。最后,模型有各种数据输出选项,便于报告和分析最终结果。NIKON NSR-2005 I8A是一种可靠、高效的晶圆步进器,为各种半导体制造工艺提供了更高的灵活性和精度。其先进的设计和高精度的成像能力为制造最具挑战性的设计提供了卓越的效果。
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