二手 NIKON NSR 2005 i8A #9351643 待售
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NIKON NSR 2005 i8A是为高级光刻工艺设计的高精度晶圆步进器。这台机器允许开发高密度集成电路和其他先进的电子应用。它拥有先进的晶圆检测图像测量设备，光掩模和晶圆级的精确放置和对准，以及改进的光束轮廓，以提高分辨率和对比度。光学系统由高精度、高性能的U型折射光学单元组成。这台机器提供了广阔的景深、出色的分辨率和对比度。放大范围为5x-90 x，最大数值孔径（NA）为0.50。视场为305mm,模距为≤ 148 μ m,模距为≤ 75 μ rad。利用双轴数字伺服控制工具进一步优化了机器的扫描性能。控制器在整个步进操作过程中管理扫描、模具配准和模具对准。资产可以精确定位放置和扫描分辨率为0.05 μ m/像素的元素。该机还配备了先进的软扫描迭加模型。该设备允许在执行复杂的石刻工艺时进行精确的迭加对齐。系统可以将1层掩模注册到基板的一层或多层，以确保完美的迭加精度。NIKON NSR 2005I8A专为全天候连续运行和保证可用性而设计。该单元配备了超高精度晶片级，以确保精确的运动和图像稳定性。其温度控制机在整个刀具中保持一致的温度,产生均匀的图像质量,结果可重复到0.1 μ m以内。该机器还具有集成晶圆传输资产，便于装卸批次晶圆。这使得机器成为一个高效、自动化的模型，允许快速和精确的制造过程。由于控制设备的紧密集成,操作员可以密切关注他们的工作,并在需要时进行校正。综上所述，NSR-2005I8A是一种先进的晶片步进器，在保持光刻性能一致的同时提供精度和准确性。它旨在适应复杂的制造过程,同时提供准确和可重复的结果。
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