二手 NIKON NSR 2005 i9C #9003511 待售

NIKON NSR 2005 i9C Wafer Stepper是生产半导体电路和元件的高度通用和精确的晶圆光刻设备。该机器能够生产具有22nm线/空间图样分辨率的高级设备结构,一次可覆盖8英寸的区域。NIKON NSR2005I9C Wafer Stepper采用最新的高精度图像投影光学器件,与传统的光刻系统相比,其分辨率和聚焦精度更高。该系统由三个主要单元组成：主控制单元、晶圆步进器和光源。主控制单元包含所有必要的软硬件组件来控制和处理晶圆的图像和数据。组件包括控制器、计算机、显示器和网络设备。晶片步进器单元包含精确定位单元内晶片所需的电机和光电子，并将其精确定位以进行光刻。它还包括一个舞台表和一个控制器板，用于控制晶圆和光学器件的方向。光源为晶圆表面产生图像提供了必要的光辐射。NSR-2005I9C Wafer Stepper配备了直观的用户界面,其中包括：用于控制机器的用户友好图形用户界面（GUI）以及用于存储、管理和控制晶圆数据的高级粒子成像数据库。GUI还可用于手工编辑和将成像数据注入光刻工具。NSR 2005-I9C晶片步进器的设计具有高度精确和稳定的晶片级,能够在整个光刻过程中提供平滑、可靠和精确的性能。该资产还包含一个以高端光学器件构建的先进光学模型，提供卓越的图像质量。此外,NSR 2005 i9C Wafer Stepper还配备了高精度对准设备,可精确定位基板、对准掩模并定位晶片上的图样。这意味着，即使距离小于5微米，系统也能精确定位掩码的边缘或角落。它还具有高速驱动机构，能够快速操作和高精度控制晶圆运动，不需要昂贵的校准。最后,NSR 2005I9C Wafer步进器设计有加热室和先进的温度控制系统,可以在步进器内部进行精确的温度设置和稳定。这确保了环境和加速因素最小化，从而优化了半导体器件生产运行的质量。