二手 NIKON NSR 2005 i9C #9059235 待售
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NIKON NSR 2005 i9C是一种先进的晶圆步进器,用于微电子工业的先进半导体器件制造。该机器为标准和高级成像应用程序提供卓越的成像性能。它在所有成像模式下提供0.40 µm的最大分辨率,从而能够打印小至0.25 µm的临界电路图样。这使得它非常适合高端半导体开发制造中最先进的节点。它具备多种曝光能力,使其能够在正面和负面的过程中产生高质量的图像。该机的目标曝光范围为0.6-5.6µm,跨越多次曝光通道的最大曝光范围为0.5-5.5µm。它进一步配备了ALGIS(Auto-Level Gain Image Shifting)系统,减少了不同曝光通道中散焦和图像大小变化的影响。与其它晶片步进器相比,该机器的设计目的是在CD(临界尺寸)测量中提供最大精度和精度。其300 mm x 400mm的大型活动场使其能够产生大的图样,提供卓越的吞吐量和成本效益。它的步长和重复速度为每步长6秒,每小时总共300张图像。这使得它非常适合大批量生产运行。它的模块化设计允许简单、快速的维护和维修选项。它还可以更轻松地集成到新的或现有的客户系统中。NIKON NSR2005I9C进一步配备了集成晶圆厂设备和系统的先进自动化技术,消除了人工操作。它还具有自动对焦和自动对齐功能,可在保持质量的同时加快生产时间。NSR-2005I9C采用降噪技术来减少运动部件产生的振动量,从而提高成像性能和精度。它还配备了双照明,使用脉冲光源进行精确曝光。NSR2005I9C是先进半导体制造的理想选择,满足当今最先进节点的需求。其先进的预对准和自动校准功能确保了高工艺精度和精确度,同时还提供了更快的安装、设置和维护。
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