二手 NIKON NSR 2005 i9C #9096010 待售

NIKON NSR 2005 i9C是一种高速、高精度的晶圆步进器，专为各种先进的光掩模阵列应用而设计。它是一种半自动设备,提供出色的通用系统配置。晶圆步进器在工作精度和速度方面比其他设备有几个优点。NIKON NSR2005I9C的功能集包括一个支撑能力高达22.0英寸的光学预对准单元（OPS）和一个空气轴承x/y/theta级,具有快速的沉降时间和5微米的最小增量抖动。这种高精度可以通过精密光学和高科技机电一体化的结合来实现。其先进的成像机提高了NSR-2005I9C的整体性能，使曝光均匀性和现场尺寸最大化。它具有快速且高度精确的多重曝光模式,可显着提高刀具的吞吐量。此外，晶圆步进器有一个完全集成的软件资产，允许顺序，同时和溷合曝光和蚀刻。该型号还配备了若干保护环境和设备免受任何损坏和故障的安全系统。安全系统的阵列包括气体净化、防尘、空气过滤和高压差分洗涤器。NSR 2005I9C由于具有卓越的真空能力，也可用于超高真空应用。通过采用超高真空（UHV）集成设备和超低放气型材来提高超高真空状态，从而获得最高性能。晶圆步进器可以连接到主机或远程计算机,以实现额外的灵活性和易于操作。集成的远程操作软件通过浏览器界面提供对系统的完全控制。晶圆步进器也可以与其他生产工具如运单和数据库集成。总之，NSR2005I9C是一个先进的多功能单元，旨在满足光掩模制图应用的需求。配备高精度光学和机电一体化、先进成像机、多种安全系统、超高真空能力，提供优异的刀具性能。此外，晶片步进器可以连接到主机或远程机器，以获得额外的灵活性和易于操作。