二手 NIKON NSR 2005 i9C #9096011 待售

NIKON NSR 2005 i9C是一种先进的晶圆步进设备,具有惊人的速度、精度和精度。这种步进系统旨在帮助用户在半导体基板上产生严格的光刻图像。要启动,NIKON NSR2005I9C具有5轴运动控制模块,用于沿X、Y和Z轴的超精确运动,以及旋转和第三轴倾斜。这些运动提供了最佳的精度和允许快速基板对准.该设备还拥有高速CCD图像传感设备，提供高分辨率的全帧EDWS（边缘检测和晶圆扫描）。这允许精确的边缘识别和晶圆分析，同时还可以同时扫描整个基板，以确保高精度。NSR-2005I9C利用各种特殊镜头来确保曝光场的高精度定位。它还使用高分辨率的运动控制机在X、Y、Z轴上实现超精确的运动，实现精确的位置控制。这种步进器工具还配备了查克快门机构（Chuck Shutter Mechanism，CMS），用于精确的快门控制，消除了任何可能导致光源距离不准确的倾斜变化。NIKON NSR 2005I9C还具有先进的稳定技术,如用于超精确曝光放大控制的主动层稳定（ALS）和用于精确层边界定位的逐层固定（LBLF）。该资产还利用AMRC技术，消除了手动对准的需要，大大简化了制作精确光刻图像的过程。NSR 2005 i9C还具有多点加载模型,可用于一次加载多个晶片,从而提高吞吐量并减少等待时间。此外,它还提供自动光束快门、低压/低温曝光（LLTE）和加热级门（HSD）等选项,提供额外的灵活性和性能。总体而言，NSR2005I9C晶片步进设备是一种令人印象深刻的设备，能够提供极其精确、精确和快速的光刻图像。其5轴运动控制模块和高分辨率运动控制系统确保超精确的曝光放大、层定位和快门控制，而其AMRC技术、Multi-Point Loading单元和附加选项则提供了进一步的灵活性和提高吞吐量。