二手 NIKON NSR 2005 i9C #9096012 待售

NIKON NSR 2005 i9C Wafer Stepper是一种高精度的半导体光刻设备,用于创建集成电路和微观电子元件。由NIKON Semiconductor Solutions开发制造，提供高吞吐量和极低成本的模式，具有无与伦比的模式捕获精度和位置精度。NIKON NSR2005I9C具有极高的曝光分辨率,其动态范围为1/1000nm。它提供了一个opto-mechanical锯齿校正协议，减少在有效和稳健nyquist采样模式失真。晶片级配备了先进的动态研磨和整体式、无干扰对准系统，以及保证完美光学对准的集成环搜索单元。该i9C还提供独特的"纳米跟踪"技术，使机器能够用于极端放大成像。NSR-2005I9C具有2K和4K镜头组件4K和6K少的图样,能够10nm的分辨率,并配备392nm的ArF氘灯和k准分子激光器。这种半导体光刻工具具有0.5nm级的位置和焦点可重复性。其独特的配置允许不同的掩码级别,并提供了一系列全面的多层过程,如抗蚀剂、提升和单层抗蚀剂。这种光学是离轴的，四级二进制光学资产和直接写入技术提供了多种优化技术来满足不同的需求。NSR 2005I9C还具有一套自动化的计算机控制选项,使用户能够缩短周期时间并优化模型吞吐量和准确性。此外,CCD摄像机连接到设备处理器,使用户能够即时访问关键数据,例如标线和字段大小。该系统还有一个热扩散器和一个气体模块，以帮助减少污染。总体而言,NSR 2005 I 9 C晶片步进器是一种高度精确和可靠的半导体光刻设备,适用于创建具有前所未有的分辨率、精度和吞吐量的图样。其独特的特性，如先进的动态研磨和整体式、无干扰对齐机、离轴光学以及自动计算机控制功能，使其成为业界最佳的晶圆步进器之一。