二手 NIKON NSR 2005 i9C #9096013 待售

NIKON NSR 2005 i9C是为高精度光刻应用而设计的晶圆步进器。晶片步进器利用先进技术，在晶片或基板上精确地创建高分辨率图像。NIKON NSR2005I9C能够在一次拍摄中执行多个功能，包括曝光、对准和烘烤。凭借其高速成像能力和获得专利的"真空"成像头，i9C能够以精确、可重复的方式准确地产生亚微米分辨率模式。该i9C由成像头、照明设备和可移动光束输送机构三个主要组成部分组成。成像头包含一系列可微调的透镜，可以在广阔的视野中提供精确的亚微米分辨率。照明系统包含透镜、二色滤镜和其他光学器件，为样品提供均匀、低失真的照明。最后，光束传递机构利用精确的电机控制，快速地将成像头从晶圆的一个区域移动到另一个区域。该装置能够在500 mm x 10mm的面积上提供亚微米分辨率。晶圆尺寸可以很容易地改变，以适应各种工艺要求，仅受成像头尺寸的限制。步进器设计为可配合各种抗性遮罩水平，并可容纳广泛的波长范围（193nm至248nm）。此外，该i9C还能够对具有选择性沉积机理的三维结构进行建模。NSR-2005I9C提供了许多降低复杂性和提高性能的选项和功能。这种晶圆步进器独有的是一种内部图像处理机，它大大减少了设置/调整时间。先进的运动控制工具与高速成像区域探测器相结合，确保了准确的配准和可重复的CD结果。可选的真空夹具可自动进行放置、定心和对准,从而加快处理速度并提高吞吐量。NSR2005I9C是一个可靠、精确的晶圆步进器。它能够准确地产生具有高均匀性、重复性和吞吐量的亚微米分辨率模式，使其成为晶圆生产的理想解决方桉。凭借直观的Interface和多种高级功能,它可以使复杂的光刻任务更简单、更快、更精确。