二手 NIKON NSR 2005 i9C #9195895 待售

NIKON NSR 2005 i9C是一种晶圆步进器，用于半导体制造和极紫外光刻应用。它是一种提供高吞吐量、准确性和可靠性的最先进的设备。步进器由级、光头和集成控制系统组成。该级由三个线性运动（X、Y和Z方向）组成，并配有一个内置的微米，用于精确和精确的运动控制。该级还包含用于监视晶圆位置和载荷/卸载操作的多个传感器。光学头由高分辨率成像单元和高功率紫外线激光光源组成。成像机由主镜头、成像镜头、自动对焦工具、舞台瞄准资产和光束对准装置组成。紫外线激光光源提供高度均匀和强烈的紫外线光束，确保精确的光刻成像。集成控制模型由许多先进的数字控制器组成，包括基于PC的控制器、基于PC的评估设备和步进控制器。这些控制系统一起用来自动化和控制平版印刷过程的各个阶段，包括舞台运动、曝光、开发、蚀刻和电镀。归根结底,NIKON NSR2005I9C是一种先进可靠的晶圆步进器,可为半导体和EUV光刻应用提供高吞吐量、高精度和长期可靠性。