二手 NIKON NSR 2005 i9C #9239576 待售

NIKON NSR 2005 i9C
ID: 9239576
晶圆大小: 6"
优质的: 1993
i-Line stepper, 6", 1993 vintage.
NIKON NSR 2005 i9C晶片步进器是一种高度先进的自动化晶片处理设备,旨在提高半导体器件开发的精度和生产效率。它提供精确的对准和旋转控制与两个独立的,受控的运动轴,允许复杂的图案在晶圆表面上精确蚀刻。此外,步进器还具有内置的编程接口,即使是最复杂的设备设计,也可以方便地进行设置和操作。NIKON NSR2005I9C具有高效、强大的光刻系统。其先进的光学元件由三个球面透镜组成,提供精细的对焦控制和均匀的曝光覆盖。它还促进了一种共享镜头算法,以优化每种照片模式的曝光,从而提高产量。此步进器还提供了小于0.3 nm的最大对准分辨率,确保了极高的精度性能。特殊的快门单元允许在整个晶片上均匀曝光,降低了手动曝光补偿的复杂性。NSR-2005I9C具有强大的设计,能够承受可重复、高精度的处理操作。它的谐振扫描仪和紧凑的底座可以防止操作过程中的微振动,其内置的热补偿可以补偿可能发生的任何热漂移。此外,步进器还提供了一种安全的处理机制,用于从晶片级安全装卸晶片。高吞吐量步进器提供高达每小时30晶圆的速度,其整体设备效率(OEE)大于90%。它具有工厂自动化解决方桉,可与潜在的外围设备集成,实现自动化维护。内置光刻工艺监测器有助于尽早检测工艺变化,其基于算法的库提供了一种高效的校准机。NSR 2005-I9C是业界领先的晶圆步进器,提供令人印象深刻的准确性和生产率。其先进的光刻工具和热补偿为创建高质量、错综复杂的器件提供了一个可靠的平台,使其非常适合半导体器件的开发。此外,它的USB数据框架和易于设置的接口允许快速和易于操作,其OEE确保高收益的结果。
还没有评论