二手 NIKON NSR 202A #9210121 待售
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ID: 9210121
Stepper
Specifications:
Resolution: ≦ 250 nm
NA: 0.60
Exposure light source: KrF excimer laser (248 nm wavelength)
Reduction ratio: 1:4
Exposure field: 25 × 33 (mm)
Alignment accuracy (EGA, |M| + 3σ): ≦ 45 nm.
NIKON NSR 202A是一种全自动晶片步进器,设计用于高精度和可靠的半导体晶片处理。它是下一代晶圆步进器,具有紧凑的模块化设计,可实现最大的工作流效率。NSR 202A具有视觉设备,能够高效、准确地处理大型晶片。它采用高精度的高分辨率2K CCD透镜阵列,可以检测每个晶片上的单个图样和特征。步进器还利用先进的光学系统,确保无与伦比的精度和速度来曝光晶片。NIKON NSR 202A具有创新的镜头单元,使机器能够以不同的放大倍率对晶片成像。这台机器还允许最大程度地灵活设置和对齐,使机器能够适应不同晶片的芯片布局变化。该机还具有提供可重复晶片定位和提高精度的自动对焦机构。此工具可确保每次都有一致的芯片阵列和曝光。NSR 202A具有集成的曝光控制资产,可以精确控制您的流程。此模型提供了稳定的工作环境,并为各种应用程序提供了高级阵列技术。该机采用模块化设计和高速处理器,以实现业界领先的性能。它采用独特的单间设计,有助于降低设备成本,同时提供安全的工作环境。此外,NIKON NSR 202A利用高级软件体系结构,使各种应用程序易于编程和控制。它易于使用的图形操作员界面允许高效直观的设置和操作。NSR 202A是业界领先的晶圆步进器,旨在充分利用半导体制造工艺。其先进的特性和精密光学为生产高精度晶片提供了强大而高效的途径。NIKON NSR 202A具有模块化设计和集成的曝光控制设备,是任何晶圆处理应用的理想工具。
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